新能源趨勢下的微結構精度

現(xiàn)代生活離不開電機和電氣傳動，多樣化的應用小至消費品行業(yè)的*小驅動部件如電動牙刷、DVD驅動，大到工業(yè)行業(yè)的起重機和電力機車所用的高性能驅動器等。微電子行業(yè)的設備對于機械精度都有非常高的要求，微結構和*小的組件必須要對應在**的位置上，如半導體一樣在納米范圍內或者電路板一樣在微米范圍內的精度要求，這些確保了電氣布線和電氣功能的穩(wěn)定運作。

為了達到電機的性能優(yōu)化、節(jié)能、低噪聲、長壽命等特性來實現(xiàn)降低能耗，使用了新材料來減少機械部件的摩擦，并優(yōu)化了生產控制。除電子換向外，這還可減少電動機部件的不平衡。
隨著新能源發(fā)展的趨勢，電氣工程應用中的降低能耗適用于所有設備，如：

洗衣機
干衣機
電冰箱
洗碗機
消費類電子產品

另一個趨勢是設備和組件的小型化，如越來越扁平化的筆記本電腦或手機，這要求電子部件和更薄的多層電路板尺寸更小，尤其是對減小導體寬度和厚度以及過孔的可靠生產要求越來越高。

在電子元件領域，摩爾定律導致了16nm和10nm的制造工藝，這些非常小的結構變量在生產和測量技術方面都是一個挑戰(zhàn)。“超過摩爾”的現(xiàn)狀已經與MEMS、高壓、圖像傳感器或結構尺寸高達55nm的集成存儲器等工藝模塊一起出現(xiàn)。燃料電池或鋰離子電池等新型儲能裝置也對微尺寸測量技術提出了新的要求。

電氣工程的生產過程通常是大批量的過程。為了保證生產質量，在許多工序中都進行了100％的測量或檢查。工藝開發(fā)或組件開發(fā)也需要使用微尺寸測量技術。
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